9月10-12日,第26届中国国际光电博览会在深圳国际会展中心盛大举办,3天共吸引了143,645名专业观众到场。同时,亦有不少行业内知名媒体到场对展会进行报道并撰写相关文章,以下内容摘录自红外芯闻原创文章:

“红外技术及应用展”是CIOE中国光博会核心板块之一,呈现出“姹紫嫣红”的蓬勃景象,上百家红外探测器上下游厂商携最新成果集中亮相,展现技术创新发展,突出全场景解决方案,让观众一站式洞悉红外产业的技术趋势与应用前景;展会同期还举办系列行业论坛,深度促进红外产学研交流合作,进一步推动红外技术加速走向产业化。
短波红外探测器市场需求当前集中于国防军事和航天航空领域,但工业监测、消费电子、汽车电子等领域孕育了高增长的期望。以上海技物所、夜视院集团、国惠光电、中科德芯、睿创微纳、立鼎光电、光智科技、中芯热成、英睿红外等为代表的国内短波红外探测器厂商全面展示其创新技术和解决方案。(注:单位先后顺序主要与探测波长及光敏材料相关)
中国科学院上海技术物理研究所(简称:上海技物所)是集基础研究、工程技术研发和高新技术产业化为一体的综合型国立研究机构,聚焦红外与光电领域,重点发展空天红外与光电有效载荷、高性能红外探测器、红外物理及前沿技术、空间主动光电和遥感信息处理技术等领域。上海技物所展出了系列铟镓砷(InGaAs)组件、短波红外探测器杜瓦以及短波红外线偏振相机。其中InGaAs短波红外探测器杜瓦是面向阵列规模为640×512的InGaAs短波红外探测器,响应波段覆盖0.9-2.2 μm,可集成低成本微型斯特林制冷机,是能够实现低成本、批量化制造的微型红外组件。短波红外线偏振相机采用30 μm像元的线偏振分焦平面CCD作为感光元件,可进行320×256像素分辨率的面阵线偏振度测量,具有快照式高消光比特性,主要面向科学任务。
北方夜视科技研究院集团有限公司(简称:夜视院集团)红外探测器中心是国内规模化红外探测器组件生产和研发中心,具备现代化柔性生产线,实现了第一代、第二代红外探测器产品的批产和工程化应用,并致力于第三代红外探测器的研发,掌握多项光电探测器关键技术,具备多项自主知识产权。夜视院集团展出了多款短波红外探测器及成像组件,其短波红外探测器光敏材料以InGaAs和碲镉汞(MCT,HgCdTe)为主,本次展出的InGaAs短波红外探测器包含面阵探测器和线阵探测器。此外,夜视院集团发布了PbS胶体量子点短波红外探测器新品及短波红外成像解决方案,阵列规模为1920×1536,像元尺寸为5 μm,响应波段覆盖400-2000 nm。
山西国惠光电科技有限公司(简称:国惠光电)是国内最早深耕InGaAs短波红外探测器的厂商之一,拥有国际水准的4英寸III-V族半导体化合物芯片生产线,自主研发并实现工程化生产的红外焦平面探测器芯片及其成像系统,其指标已达到国际先进水平。国惠光电展出了多款高性能InGaAs探测器及成像系统。国惠光电自主研发生产的15 μm像元的多分辨率面阵和线阵InGaAs短波红外芯片具备高灵敏度、低噪声和宽光谱响应特性。国惠光电本次主要展示短波红外成像技术与产品在赋能半导体检测、光伏探伤等制造领域的技术实力与应用潜力。
无锡中科德芯感知科技有限公司(简称:中科德芯)成立于2020年1月13日,围绕光电材料的研发,建设光电材料与器件关键核心技术,打造了丰富的InGaAs短波红外探测器产品线。中科德芯展示了多款短波红外单元、线列和面阵探测器以及短波红外机芯,首发A976515V4-A四级TEC制冷640×512面阵探测器、L97A113C1-C矩形像元1024×1线阵探测器等新产品。这些新产品在高工作温度、多档增益、大动态范围、高灵敏度等方面颇具优势,可以覆盖丰富的应用场景。
烟台睿创微纳技术股份有限公司(简称:睿创微纳)已从红外热成像领军者逐渐布局多维感知,不断拓展在制冷长波/中波/短波红外、激光、微波等光谱传感领域的研究,构建“多维感知+AI”技术矩阵,为客户提供更全面、更智能的光电解决方案。睿创微纳于2022年研制了15 μm 640×512 InGaAs探测器芯片,并发布了短波红外机芯组件产品。睿创微纳在光子器件及模组位置展出了多款短波红外探测器和短波红外相机,其短波红外探测器光敏材料为InGaAs,展出的产品包含面阵探测器和线阵探测器,分辨率涵盖1024×1 / 640×512 / 1280×1024,响应波段覆盖0.9-1.7 μm,面向空间通信、机器视觉、工业分选、光谱成像、半导体检测等应用领域。
西安立鼎光电科技有限公司(简称:立鼎光电)专业从事短波红外成像系统及光电测试装备的研发生产和系统集成,为客户提供从元件、组件、部件到全套光电系统产品的完整解决方案。立鼎光电重点展示了其短波红外探测器和短波红外相机,其短波红外探测器光敏材料为InGaAs,像元尺寸有12 μm、15 μm 、30 μm,响应波段覆盖0.9-1.7 μm、1.1-1.9 μm、1.2-2.2 μm,具有高灵敏度、低噪声的特点,广泛应用于军工、科研、工业监测等领域。
安徽光智科技有限公司(简称:光智科技)以全光谱感知技术为核心,构建了覆盖紫外、可见光、短波红外、中波红外、长波红外、毫米波、微波等各波段的技术布局,实现了从基础材料到核心器件再到终端应用的全产业链创新能力。光智科技首次展出了多款短波红外探测器及红外机芯,其短波红外探测器光敏材料有InGaAs和碲镉汞(MCT,HgCdTe),面阵规模为640×512,像元尺寸为15 μm,响应波段分别为0.9-1.7 μm(InGaAs)和1.0-2.5 μm(MCT)。
中芯热成科技(北京)有限责任公司(简称:中芯热成)专注于红外量子点材料成像芯片领域,已拥有从芯片制备、测试封装,再到整机集成全链条自主生产能力,并已实施自动化、工程化的先进生产工艺。中芯热成重点展出了采用硅基CMOS工艺兼容的HgTe胶体量子点材料制备的640×512 / 1280×1024 / 1024×1短波面阵及线阵红外探测器,可实现0.9-2.0 μm宽谱段红外感知,具备低成本、大批量制备、波段可调等优势。中芯热成自研的640×512面阵凝视型短波红外相机可满足不同应用场景下的需求,广泛应用于工业检测与智能制造等领域。
武汉英睿红外科技有限公司(简称:英睿红外)致力于推动胶体量子点短波红外成像芯片在工业领域的深度应用与技术突破,开发出可与硅基芯片一体化集成的短波红外成像芯片,成功实现高性能、低成本之间的平衡,更好地为满足工业领域不同场景需求提供核心支撑。英睿红外展出了全系列硫化铅胶体量子点(PbS CQD)短波红外探测器、成像芯片及相机,具有高灵敏度、宽光谱响应、低功耗、小型化等技术优势,可快速集成终端产品。英睿红外重点展出PbS胶体量子点焦平面探测器IRSKY032151和IRSKY032152,面阵规模为640×512,像元尺寸为15 μm,可广泛应用于激光分析、半导体检测、机器视觉、车载摄像等领域。
中波红外探测器市场需求当前集中于国防军事领域,新兴应用主要包括气体探测、工业监测、气象遥感等。以上海技物所、夜视院集团、中国电科11所、高德红外、珏芯微电子、智创芯源、光智科技、中航红外、焜腾红外、拓感科技、超晶光电、睿创微纳、中科爱毕赛思等为代表的国内中波红外探测器厂商全面展示其创新技术和解决方案。(注:单位先后顺序主要与探测波长及光敏材料相关)
上海技物所展出了Y3C系列多元光导红外探测器,光敏材料采用HgCdTe,利用光电导效应快速响应,响应波段最大可覆盖2-16 μm,阵列规模有单元、多元和小线列,最大可达16×16像元,响应时间优于1 μs,单元最大光敏单元尺寸可达1 mm×1 mm,可应用于傅里叶红外光谱探测和红外辐射定标探测等领域。
夜视院集团展出了多款中波红外探测器、红外机芯和红外热像仪,其中波红外探测器光敏材料以HgCdTe为主。夜视院集团本次重磅发布了制冷中波1K变F数红外探测器系列产品,该中波红外探测器集成电控可变冷光阑,工作在“零下200 ℃”低温环境,可通过驱控电机控制,光阑的开合寿命超过10万次,工艺容差大于0.5毫米,光阑可在F2至F6之间进行切换调整。夜视院集团以制冷中波1K变F数红外探测器为牵引,开发出模块化、成像性能优质的F数可变红外机芯,以及具有小型化、高变倍比、100%冷光阑匹配的红外热像仪整机。
中国电子科技集团公司第十一研究所(华北光电技术研究所,简称:中国电科11所)是从事激光与红外技术的综合性研究所,主要产品包括激光与红外材料、器件、整机及系统等,是我国主要的光电技术研究所之一。中国电科11所展出了多型号中波锑化铟(InSb)/碲镉汞探测器组件、高温工作中波红外探测器组件、集成式中波探测器组件、中波/长波碲镉汞探测器组件以及中波/长波Ⅱ类超晶格(T2SL)探测器组件。中国电科11所本次共展示了从材料、器件到整机系统完整产业链共70余款产品及服务。
武汉高德红外股份公司(简称:高德红外)拥有8英寸0.5 μm工艺节点的碲镉汞制冷红外探测器批产线、8英寸0.5 μm工艺节点的T2SL制冷红外探测器批产线,自主完成原材料提纯、生长,到芯片的流片、制造、封装与测试的全套工艺。高德红外展出了全系列高温(HOT)中波制冷红外探测器,以500万像素高温中波制冷红外探测器为代表,具备超高分辨率、视场覆盖率更高,工作温度可达150 K,高温工作性能处在同级别产品中的头部行列。高德红外还展出了多款中波高温气体探测器,可精准检测VOCs、CO₂、CO等工业气体,灵敏度极高,NETD低至10-25 mK,可识别微小泄漏。
浙江珏芯微电子有限公司(简称:珏芯微电子)是一家集化合物半导体晶体及外延材料、集成电路设计、器件工艺、高真空封装、精密制冷机等半导体全产业链的高科技公司,军工资质齐全。珏芯微电子展出了多款碲镉汞中波制冷红外探测器、碲镉汞大面阵中波制冷红外探测器、超小型高温中波制冷红外探测器以及红外光学气体探测器等特色产品。碲镉汞中波制冷红外探测器可提供640×512、1024×1024、1280×1024像元等多种阵列规模。
北京智创科技有限公司(简称:智创芯源)具备衬底材料、外延材料、芯片、读出电路、微杜瓦、制冷机等样品的全链制造能力,充分彰显了公司“产品设计与制造全过程自主可控”的理念和能力。智创芯源展出了多款碲镉汞中波红外焦平面探测器、高温(HOT)中波红外焦平面探测器和气体探测组件。中波红外焦平面探测器可提供320x256、640×512、1280×1024像元等多种阵列规模,像元尺寸有10 μm、15 μm、25 μm、30 μm。气体探测器可跟踪捕获VOCs,具有高灵敏度、实时、动态等优势,广泛应用于化工生产过程中危险气体的管路运输、存储和排放的泄露监测。
光智科技展出了中波光伏型单元探测器、中波光导型碲镉汞(MCT)单元探测器、MCT/T2SL中波制冷红外探测器、高温小型化探测器以及高温中波气体探测机芯。光智科技高温中波气体探测机芯搭配国内首款最轻制冷机RM02T斯特林制冷机,具备体积小、重量轻、功耗低等特点。光智科技自研的高稳定性、高均匀性T2SL材料在本次展会首次亮相,该材料采用先进分子束外延生长技术,专为红外探测器等光电器件应用设计,目前已经实现高温中波和长波外延片的量产。
中航凯迈(上海)红外科技有限公司(简称:中航红外)主要从事军民两用红外探测器及红外光学研发生产,锑化物探测器科研生产能力处于国内领先水平。中航红外展出了自主研发生产的InSb中波红外探测器、铟砷锑(InAsSb)气体探测器、超晶格(InAs/GaSb)中波红外探测器的各型产品,并展出了其最新研发的320 × 256(30 μm)中中双色热像仪。
浙江焜腾红外技术股份有限公司(简称:焜腾红外)的制冷T2SL探测技术攻克了T2SL材料外延生长、器件结构设计、芯片制备工艺及探测器规模化工艺等方面“卡脖子”关键技术,在T2SL材料结构的优化设计、器件制备、高真空封装处于国内领先水平。焜腾红外已建成一条2英寸和3英寸(制冷)红外探测器芯片生产线,2021年新投资建设的制冷红外探测器光电芯片产业园已于2025年竣工并逐步投产,达产后T2SL探测器批产规模国内第一。焜腾红外展出了多款T2SL中波制冷红外探测器及16位自研的配套成像电路模组。T2SL中波制冷红外探测器可提供320x256、640×512、1280×1024像元等多种阵列规模,像元尺寸有10 μm、15 μm、30 μm。
睿创微纳在光子器件及模组位置展出了T2SL高温中波红外探测器,该高温中波红外探测器像元间距为15 μm,阵列规模为640 × 512,具有高可靠性、高稳定性。相较于非制冷红外探测器,制冷红外探测器灵敏度更高、响应速度更快,适用于更远距离成像、更高速度的运动目标追踪,可结合AI大模型,为安防监控、户外集成、工业测温、气体成像等领域提供更理想的方案。
中科爱毕赛思(常州)光电科技有限公司(简称:中科爱毕赛思)长期从事III-V族半导体光电材料、器件的研发与生产,掌握了分子束外延生长(MBE)与芯片制备的关键核心技术,具备新一代高性能光电子器件从结构设计、材料外延、器件制备到组件封装的全产业链技术能力。中科爱毕赛思展出了自主研发和生产的超晶格中波红外探测器组件,可提供阵列规模涵盖320×256、640×512、1280×1024,像元尺寸有10 μm、15 μm、30 μm。
长波红外探测器通常分为热敏感型红外探测器和光子敏感型红外探测器两大类。我国热敏感型红外探测器产业链已经发展成熟,相关探测器芯片成本迅速降低,从而带来了诸多新的应用机遇,占据全球市场“半壁江山”;光子敏感型红外探测器价格昂贵且工作时需要制冷,主要面向国防军事和航空航天应用。以高德红外、睿创微纳、大立科技、海康微影、上海技物所、夜视院集团、珏芯微电子、中国电科11所、中科爱毕赛思、中航红外、焜腾红外、光智科技等为代表的国内长波红外探测器厂商全面展示其创新技术和解决方案。(注:单位先后顺序主要与探测波长及光敏材料相关)
高德红外拥有8英寸0.11 μm工艺节点的氧化钒非制冷红外探测器批产型MEMS生产线,提供从探测器、机芯模组到应用的全套解决方案。高德红外展出了多款非制冷红外探测器及红外机芯,其中较为突出的是大面阵非制冷红外探测器和百万像素非制冷红外探测器。同时,高德红外首发业内640像素分辨率最小红外机芯iTL608,13×13 mm,8 μm超小像元间距,为安防监控、户外视觉、无人机载荷、医疗健康、消费电子等行业提供解决方案。此外,高德红外还展出了两款超晶格长波制冷红外探测器,分辨率分别为500万像素和1280×1024百万像素,像元尺寸为15 μm,适用于复杂环境。高德红外车载红外热成像安全系统,结合自研AI算法,实现毫秒级动态目标识别与响应,并进行安全预警,全天候守护用户出行安全。
睿创微纳自2021年发布8 μm系列以来,持续实现技术突破,目前已完成640×512、1920×1080面阵产品的全面升级,以更小体积、更轻重量和超高清分辨率显著提升用户的感知体验,为消费电子、汽车及其他高端行业提供更强技术支撑。睿创微纳展出了多款8 μm非制冷红外热成像探测器芯片及模组、全球首款SWLP探测器和多款陶瓷封装探测器。睿创微纳智能防爆轮式巡检机器人搭载自研气体泄漏检测防爆双光云台,深度融合多维感知与AI算法,可替代人工进行气体泄漏、液体泄漏、红外温度监测、仪器仪表监测、火焰监测等巡检任务。此外,睿创微纳还展出了一款T2SL长波制冷红外探测器机芯组件,像元间距为15 μm,阵列规模为640×512,可选多种镜头、接口丰富,支持二次开发。
浙江大立科技股份有限公司(简称:大立科技)具有批量生产非制冷红外焦平面探测器的能力,拥有国内唯一的军品非制冷焦平面红外探测器(非晶硅技术路线)产业化基地。大立科技展出了从设计到生产具有完全自主知识产权的200万像素非制冷焦平面探测器及红外机芯,并现场做了2 K高清红外成像。大立科技系列化、高性能的光电吊舱产品成为本次展会的瞩目焦点。大立科技凭借自主研发的红外探测器,深度融合先进的AI智能算法,在电力巡检、安防监控、无人机、汽车智能驾驶、机器人等领域展现硬核实力。
杭州海康微影传感科技有限公司(简称:海康微影)主要生产以氧化钒为敏感材料的非制冷红外探测器,是以MEMS技术为核心的红外探测器解决方案提供商。海康微影展出了多款非制冷红外探测器及红外机芯,同时也展示了其将基础器件与底层算法结合的实力。海康微影专业型热像仪结合自研探测器与AI算法,为工业生产安全提供智能优化巡检方案,可实时精准识别缺陷和漏点、及时提醒、智能分析巡检结果,显著提升巡检效率。海康微影在本次展会中设置了特色互动演示装置,包括无挡永动装置、电力行业应用装置、配电柜巡检装置、PCB检测装置等,其中以无挡永动装置最为突出,彰显了海康微影的技术实力。
上海技物所展出了高温度分辨率量子阱长波红外探测器,光敏材料采用GaAs/AlGaAs量子阱杜瓦,响应波段可以覆盖8-9 μm或10-11 μm,面相阵列规模有320×256像元@30 μm、640×512像元@25 μm,适合用于室温目标的热成像和特气(SF6等)检测。此外,上海技物所还展出了Y3V系列多元光伏红外探测器,光敏材料采用HgCdTe,利用光伏效应快速响应,最长截止波长可达8 μm,阵列规模有单元、多元和小线列,单元最大光敏元尺寸可达1 mm×1 mm,响应时间优于1 μs,可用于红外光谱探测、红外辐射定标和特气探测等领域。
夜视院集团展出了多款长波制冷红外探测器、非制冷红外探测器、非制冷红外探测器机芯以及红外热像仪,其长波红外探测器光敏材料以HgCdTe和T2SL为主。夜视院集团发布了多款长波红外新品,本次展会重点介绍了非制冷640×512无快门长波红外成像组件,以及制冷型长波红外768×8双模式(搜索/前视)热像仪。
珏芯微电子展出了碲镉汞长波制冷红外探测器、碲镉汞大面阵长波制冷红外探测器等特色产品,长波制冷红外探测器可提供320×256、640×512像元等阵列规模,像元尺寸有30 μm和15 μm。
中国电科11所展出了超晶格长波探测器组件,阵列规模为640×512,像元尺寸为15 μm。
中航红外展出了自主研发生产的超晶格(InAs/GaSb)长波红外探测器,阵列规模为640×512,像元尺寸有15 μm和25 μm。此外,中航红外还展出了640 × 512(25 μm)多光谱热像仪,该多光谱热像仪凭借大像元、高灵敏度、多波段融合成像等显著优势,在复杂环境下的目标识别与多光谱成像应用中表现卓越。
中科爱毕赛思展出了自主研发和生产的超晶格长波红外探测器组件。其中展出了像元间距20 μm的1024×1024面阵长波红外探测器新品,该红外探测器具有卓越的图像均匀性、优异的探测灵敏度等特点,代表了中科爱毕赛思在锑化物超晶格红外探测技术方面的持续行业领导力。
焜腾红外展出了多款T2SL长波制冷红外探测器。长波制冷红外探测器标准款T3L和T6L工作波段为7.5-9.5 μm;长波制冷红外探测器T3L-1100工作波段为7-10.7 μm;长波制冷红外探测器小型款T3Ls和T6Ls工作波段为7.5-9.5 μm;长波制冷红外探测器T3Ls-1100工作波段为7-10.7 μm,适用于远距离长波红外成像。
光智科技已建设8英寸硅基MEMS非制冷红外探测器芯片生产线,并掌握了MEMS芯片设计和制造工艺技术及金属、陶瓷和晶圆级封装技术,非制冷探测器已实现最高百万像素级别。光智科技展出了多款金属封装、陶瓷封装和晶圆级封装的非制冷红外探测器。此外,光智科技还展出了液氮制冷型碲镉汞长波单元探测器和T2SL长波红外机芯,液氮制冷型碲镉汞长波单元探测器光谱范围覆盖2-15 μm。
随着红外敏感材料性能的优化、芯片设计及工艺升级、AI智能算法加成以及系统集成技术的突破,中国红外探测器厂商在短波红外、中波红外、长波红外等全波段的研发中均实现显著技术进步,同时在军事侦察、航空航天等高端应用领域完成核心性能指标的自主可控,更在智慧家居、自动驾驶、环境监测、安防监控、工业测温、医疗诊断等民用场景展开了广泛应用探索。作为全球光电领域极具影响力的行业盛会,CIOE中国光博会为红外产业搭建了集技术展示、供需对接、学术交流于一体的大型综合平台,有效打通“技术研发-市场转化”链路,助力红外产业加速步入规模化、高质量发展的快车道。红外探测技术正处于从“单一感知”向“智能多维感知”、从“专业领域”向“消费级场景”拓展的关键发展阶段,在诸多新兴领域的应用潜力亟待释放,未来发展蕴含无限可能,值得全行业满怀期待并深入探索。